物理法有機械粉碎法，電火花法，爆炸燒結法，冷凍干燥法，真空蒸發法，激光法，高頻電弧感應法，離子濺射法等。化學法有水熱合成法，沉淀法，氣相化學反應法，噴霧熱解法，溶膠-凝膠法，表面修飾法等。
常用的制備納米粒子的方法有水熱合成法，溶膠-凝膠法和表面修飾法。
水熱合成法是與水化合，通過滲析反應及物理過程控制，得到改進的無機物，再經過過濾，洗滌和干燥，得到高純，超細的納米顆粒。
溶膠-凝膠法是先制成金屬無機鹽或金屬醇鹽的前驅物，再見前驅物制成均勻的溶液，讓溶質和溶劑發生水解反應或醇解反應，反應生成物聚集成顆粒粒子，經溶膠-凝膠處理而得到超細顆粒。
表面修飾法是在無機納米微粒核的表面鍵合一層有機化合物的方法。
